ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଡିଜାଇନ୍ର ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି। ଏକ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ରେ, ଆଲୋକ ଉତ୍ସ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଆଲୋକ ବିମ୍କୁ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରିବା ଏବଂ ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ପ୍ରକାଶ କରିବା ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଉପରେ ପ୍ରକ୍ଷେପଣ କରିବା ପାଇଁ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଦାୟୀ। ତେଣୁ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସିଷ୍ଟମ୍ରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାୟ। ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ରେ ବ୍ୟବହୃତ କିଛି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ ନିମ୍ନଲିଖିତ:
ପ୍ରକ୍ଷେପଣ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ
01 ପ୍ରକ୍ଷେପଣ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ଏକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ, ଯାହା ସାଧାରଣତଃ ଉତ୍ତଳ ଲେନ୍ସ, ଅବତଳ ଲେନ୍ସ ଏବଂ ପ୍ରିଜିମ୍ ସମେତ ଲେନ୍ସର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳାକୁ ନେଇ ଗଠିତ।
02 ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟ ହେଉଛି ମାସ୍କରେ ଥିବା ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ସଙ୍କୁଚିତ କରିବା ଏବଂ ଏହାକୁ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ସହିତ ଆବୃତ ୱାଫର ଉପରେ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରିବା।
୦୩ ପ୍ରୋଜେକ୍ସନ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟର ସଠିକତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ ଏବଂ ଇମେଜିଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ।
ଦର୍ପଣ
01 ଦର୍ପଣଆଲୋକର ଦିଗ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ଏବଂ ଏହାକୁ ସଠିକ୍ ସ୍ଥାନକୁ ନିର୍ଦ୍ଦେଶିତ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
02 EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ, ଦର୍ପଣ ବିଶେଷ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ EUV ଆଲୋକ ସାମଗ୍ରୀ ଦ୍ୱାରା ସହଜରେ ଶୋଷିତ ହୁଏ, ତେଣୁ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରତିଫଳନ ସହିତ ଦର୍ପଣ ବ୍ୟବହାର କରାଯିବା ଉଚିତ।
୦୩ ପ୍ରତିଫଳକର ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ମଧ୍ୟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ଏକ ବଡ଼ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ।
ଫିଲ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ
01 ଆଲୋକର ଅନାବଶ୍ୟକ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟକୁ ଦୂର କରିବା ପାଇଁ ଫିଲ୍ଟର ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯାହା ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ।
02 ଉପଯୁକ୍ତ ଫିଲ୍ଟର ଚୟନ କରି, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ ଯେ କେବଳ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟର ଆଲୋକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ପ୍ରବେଶ କରେ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଉନ୍ନତ ହୁଏ।
ପ୍ରିଜମ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ
ଏହା ସହିତ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରିଜିମ୍, ପୋଲାରାଇଜର୍ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସହାୟକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରିପାରେ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ର ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏହି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଚୟନ, ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ନିର୍ମାଣ ପ୍ରାସଙ୍ଗିକ ବୈଷୟିକ ମାନଦଣ୍ଡ ଏବଂ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ଭାବରେ ପାଳନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।
ସଂକ୍ଷେପରେ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରୟୋଗ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ଲକ୍ଷ୍ୟ ରଖିଛି, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ମାଇକ୍ରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପର ବିକାଶକୁ ସମର୍ଥନ କରିବ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ନିରନ୍ତର ବିକାଶ ସହିତ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଏବଂ ନବସୃଜନ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଚିପ୍ସ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଅଧିକ ସମ୍ଭାବନା ପ୍ରଦାନ କରିବ।
ଅଧିକ ସୂଚନା ଏବଂ ବିଶେଷଜ୍ଞଙ୍କ ପରାମର୍ଶ ପାଇଁ, ଆମର ୱେବସାଇଟ୍ ପରିଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁhttps://www.jiujonoptics.com/ଆମର ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ସମାଧାନ ବିଷୟରେ ଅଧିକ ଜାଣିବା ପାଇଁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୦୨-୨୦୨୫
