ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଡିଜାଇନ୍ରେ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି | ଏକ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ, ଆଲୋକ ଉତ୍ସ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ହୋଇଥିବା ଆଲୋକ ବିମ୍ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଏବଂ ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ ଖୋଲିବା ପାଇଁ ଏହାକୁ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଉପରେ ପ୍ରୋଜେକ୍ଟ କରିବା ପାଇଁ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଦାୟୀ | ତେଣୁ, ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସିଷ୍ଟମରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହେଉଛି ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାୟ | ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ବ୍ୟବହୃତ କେତେକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନରେ ଦିଆଯାଇଛି:
ପ୍ରୋଜେକ୍ଟ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ |
01 ପ୍ରୋଜେକସନ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ଏକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ, ସାଧାରଣତ con କନଭକ୍ସ ଲେନ୍ସ, ଅବତଳ ଲେନ୍ସ ଏବଂ ପ୍ରିଜିମ୍ ସହିତ ଅନେକ ଲେନ୍ସକୁ ନେଇ ଗଠିତ |
02 ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟ ହେଉଛି ମାସ୍କ ଉପରେ ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ କୁ ସଙ୍କୋଚନ କରିବା ଏବଂ ଏହାକୁ ଫୋଟୋରେସିଷ୍ଟ ସହିତ ଆବୃତ ୱେଫର୍ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବା |
03 ପ୍ରୋଜେକସନ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟର ସଠିକତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ରେଜୋଲୁସନ ଏବଂ ଇମେଜିଙ୍ଗ ଗୁଣ ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |
ଦର୍ପଣ |
01 ଦର୍ପଣ |ଆଲୋକର ଦିଗ ବଦଳାଇବା ଏବଂ ଏହାକୁ ସଠିକ୍ ସ୍ଥାନକୁ ନିର୍ଦ୍ଦେଶ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
02 EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଗୁଡିକରେ, ଦର୍ପଣ ବିଶେଷ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ EUV ଆଲୋକ ସାମଗ୍ରୀ ଦ୍ୱାରା ସହଜରେ ଶୋଷିତ ହୁଏ, ତେଣୁ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରତିଫଳନ ସହିତ ଦର୍ପଣ ବ୍ୟବହାର କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ |
03 ପ୍ରତିଫଳକ ପୃଷ୍ଠର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ମଧ୍ୟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ବହୁତ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |
ଫିଲ୍ଟର୍ |
01 ଆଲୋକର ଅବାଞ୍ଛିତ ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟକୁ ହଟାଇବା ପାଇଁ ଫିଲ୍ଟରଗୁଡିକ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣେ |
02 ଉପଯୁକ୍ତ ଫିଲ୍ଟର୍ ଚୟନ କରି, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ ହୋଇପାରିବ ଯେ କେବଳ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟର ଆଲୋକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ପ୍ରବେଶ କରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ବୃଦ୍ଧି ହୁଏ |
ପ୍ରିଜିମ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ |
ଏଥିସହ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଅନ୍ୟ ସହାୟକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ ଯେପରିକି ପ୍ରିଜିମ୍, ପୋଲାରାଇଜର ଇତ୍ୟାଦି ବ୍ୟବହାର କରିପାରିବ | ଏହି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡିକର ଚୟନ, ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ ବ technical ଷୟିକ ମାନକ ଏବଂ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ କଠୋର ଭାବରେ ଅନୁସରଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |
ସଂକ୍ଷେପରେ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରୟୋଗ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନଗୁଡିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ରଖିଛି, ଯାହାଦ୍ୱାରା ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପର ବିକାଶକୁ ସମର୍ଥନ କରିବ | ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର କ୍ରମାଗତ ବିକାଶ ସହିତ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଏବଂ ନୂତନତ୍ୱ ମଧ୍ୟ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପି generation ଼ିର ଚିପ୍ସ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଅଧିକ ସମ୍ଭାବନା ପ୍ରଦାନ କରିବ |
ଅଧିକ ଜ୍ଞାନ ଏବଂ ବିଶେଷଜ୍ଞ ପରାମର୍ଶ ପାଇଁ, ଆମର ୱେବସାଇଟ୍ ପରିଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |https://www.jiujonoptics.com/ଆମର ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ସମାଧାନ ବିଷୟରେ ଅଧିକ ଜାଣିବାକୁ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନ -02-2025 |